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科研用超高濃度臭氧發(fā)生器（批次形式）

品牌：日本明電舍
介紹：Meiden純臭氧發(fā)生器是液化和儲存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。
濃度：90%以上
特點：液體臭氧如不能保持安全性，緊急將其排除（氣化，稀釋，分解，排出）
應(yīng)用： 水處理、有機膜、太陽電池、電極部件、鈦納米管、分子束外延等

標簽： 高濃度臭氧發(fā)生器

Meiden純臭氧發(fā)生器是液化和儲存臭氧氣體并連續(xù)供應(yīng)高純度臭氧氣體的裝置。由于高純度的臭氧水平，它可以用作半導(dǎo)體工藝中的氧自由基產(chǎn)生源。為了安全起見，本機具有足夠的安全措施。

此外，該單元是與日本國立先進工業(yè)科學(xué)技術(shù)研究所共同開發(fā)的。

參數(shù)

積蓄處

臭氧反應(yīng)室數(shù)量：1

最大臭氧積蓄量*¹ [cc*²] ：8000/裝置 8000/反應(yīng)室

液體臭氧濃度[％] ? 100

供給處

連續(xù)供給能力[sccm]：無

最大供給能力[sccm] ：100

臭氧氣體濃度[％] ： 90

最大供給時間[分]*³ ：80

國際安全標準SEMI-S2, UL, NFPA, CE ：符合

特征：

將臭氧生成裝置產(chǎn)生的臭氧氣體極度低溫液化后，生成100%濃度臭氧

可以持續(xù)供給100%濃度臭氧

科研用超高濃度臭氧發(fā)生器（批次形式）(圖1)

安全對策

基于安全裝置設(shè)計的考慮，保持高純度?減壓狀態(tài)，使臭氧不產(chǎn)生危險反應(yīng)。

安全設(shè)計

• 緊急時的防爆設(shè)計

• 停電，異常時通過安全系統(tǒng)控制溫度和壓力。

信賴性

• 停電時、先稀釋臭氧濃度，然后將裝置內(nèi)殘留臭氧緊急排出。

• 異常發(fā)生時可以通過EMO（緊急停止）開關(guān)來手動停止裝置。（為防止臭氧爆炸，冷凍機具有持續(xù)運行功能）

• 液化反應(yīng)室收納于真空斷熱的SUS容器中，萬一臭氧發(fā)生爆炸也不會造成對外部機械損傷。

• 液態(tài)臭氧冷卻裝置具有足夠的容積來容納液態(tài)臭氧，減少由震動引起的急速氣化爆炸風(fēng)險。

標準認證

• 符合國際安全標準（SEMI-S2、UL、NFPA、CE 等）

品質(zhì)保證

• 由第三方認證機關(guān)通過示蹤氣體實驗認證具有防止氣體泄露的安全性。

OER *工藝技術(shù)
通過將高濃度臭氧和乙烯混合，成功地生成了大量OH自由基。

科研用超高濃度臭氧發(fā)生器（批次形式）(圖2)

外形圖

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