您的位置： > 主頁 > 應(yīng)用與方案

In-situ洗凈方案

In-situ洗凈方案

EUV光刻裝置后工程（光刻處）的In-situ洗凈應(yīng)用例

In-situ洗凈方案(圖1)

效果

可以In-situ即時清洗低壓和高反應(yīng)性電極部（低濃度臭氧從未實現(xiàn)的顯著特征）

在沒有生成氧化物的同時去除污染（碳污染），保持光束反射率

100%濃度純臭氧不含NOx和H?O，不會對Mask,Mirror造成損傷

超真空環(huán)境下也能達(dá)到100%濃度純臭氧，可以充分分解Out Gas

: 問候語

問候語取締役社長三井田健 2017年我們慶祝公司成立120周年。我們要感謝許多客戶的信任和惠顧。邁登集團以創(chuàng)造更美好的未來和讓客戶安心，快樂的企業(yè)理念為基礎(chǔ)，建立了新的企...

: 明電舍溫室氣體減排目標(biāo)（向上修訂）

溫室氣體減排目標(biāo)（向上修訂）修訂前（于2018年5月宣布）校正后（2021年4月?） 2030年目標(biāo) 表現(xiàn) 2030年目標(biāo)[SBT認(rèn)證] 業(yè)務(wù)活動產(chǎn)生的排放（范圍1 + 2）減少30％（與2017年相比） 2019年...

: 提高中長期溫室氣體減排目標(biāo)并獲得SBT認(rèn)證

明電社株式會社（社長：東京都品川區(qū)三井田賢代，下稱明電社）正根據(jù)從2021年開始實施的新的中期經(jīng)營計劃，致力于向2050年實現(xiàn)碳中和的社會脫碳目標(biāo)。將向上修訂2030財年（中間階...